扩散泵为什么出现真空度较大频繁波动

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/06 03:14:34
扩散泵为什么出现真空度较大频繁波动

扩散泵为什么出现真空度较大频繁波动
扩散泵为什么出现真空度较大频繁波动

扩散泵为什么出现真空度较大频繁波动
1.漏气
2.泵油氧化

扩散泵主要是靠加热产生油蒸汽来制造真空。重点检查加热器与油,漏气点检查一下油窗密封。把测量冷规清洗一下。仔细排查不要放过不起眼的地方。