扩散泵在真空镀机起什么作用

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/04/26 02:00:57
扩散泵在真空镀机起什么作用

扩散泵在真空镀机起什么作用
扩散泵在真空镀机起什么作用

扩散泵在真空镀机起什么作用
扩散泵是一种高真空泵,可以将真空度由0.几Pa抽到10E-5Pa以上,而且抽速快,价格低,在对真空度有较高要求但对污染要求不太严格的环境下有很大市场.
主要作用就是保证真空室的高真空状态.
建议到百度文库中下载一些真空方面的书籍看看,会更清楚.

进入高真空!