如何定义晶体管串并联等效增益因子

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/11 23:58:01
如何定义晶体管串并联等效增益因子

如何定义晶体管串并联等效增益因子
如何定义晶体管串并联等效增益因子

如何定义晶体管串并联等效增益因子
1

MOS
集成电路的加工包括哪些基本工艺?各有哪些方法和工序?

答:(
1
)热氧化工艺:包括干氧化法和湿氧化法;




2
)扩散工艺:包括扩散法和离子注入法;



3
)淀积工艺:化学淀积方法:
1
外延生长法;
2

CVD
法;
3
等离子
CVD
法;


物理淀积方法:
1
溅射法;
2
真空蒸发法



4

光刻工艺:
工序包括:
1
涂光刻胶;
2
预烘干;
3
掩膜对准;
4
曝光;
5
显影;
6
后烘干;
7
腐蚀;
8
去胶.

2
、简述光刻工艺过程及作用.

答:(
1
)涂光刻胶:为了增加光刻胶和硅片之间的粘附性,防止显影时光刻胶的脱落,以
及防止湿法腐蚀产生侧向腐蚀;



2
)预烘干:以便除去光刻胶中的溶剂;



3
)掩膜对准:以保证掩模板上的图形与硅片上已加工的各层图形套准;



4
)曝光:使光刻胶获得与掩模图形相同的感光图片;



5

显影:
将曝光后的硅片浸泡在显影液中,
使正光刻胶的曝光部分和负光刻胶的
未曝光部分被溶解掉;



6

后烘干:
使残留在光刻胶中的有机溶剂完全挥发掉,
提高光刻胶和硅片的粘接
性及光刻胶的耐腐蚀性;



7
)腐蚀:以复制在光刻胶上图形作为掩膜,对下层材料进行腐蚀,将图形复制到
下层材料中;



8
)去胶:除去光刻胶.